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空气轴承定位平台

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特征

 

针对先端半导体与面板制程设备所开发之奈米空气轴承定位平台。领先同业采用新型真空预压低耗能气浮轴承、动态反作用力平衡与惯性补偿技术,可于千分之一秒内达到奈米误差内要求,大幅减少运动整定时间与组件磨耗率,提升设备生产力与可靠性。完整智能化远程系统侦测与全球客服支持提供,帮助客户大幅缩短设备开发时程,节省许多整合时间与成本,使其更聚焦本身关键制程Know-how。

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